低濁度懸濁液の連続インラインサイズモニタリング

Vistec SB3050-2 は、可変成形ビーム技術を備えた最先端の電子ビーム リソグラフィー システムで、研究開発、試作、少量生産における幅広いアプリケーションを可能にします。